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【文/觀察者網 呂棟】
7月6日,針對“將向中國推出特供版DUV光刻機”的傳言,荷蘭光刻機巨頭ASML向觀察者網回應表示,“一直以來ASML都遵守所適用的法律條例,我們并沒有面向中國市場推出特別版的光刻機”。
一周前,荷蘭政府正式宣布限制某些先進半導體設備出口的新規,這些規定將于9月1日生效。具體而言,荷蘭政府將要求先進芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點名會受到限制的公司,但外界都明白這是在針對當地最出名的半導體設備公司ASML。
彼時,ASML回應觀察者網表示,根據新出口管制條例規定,該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發運最先進的浸潤式DUV系統(即TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統)。荷蘭政府將決定是否授予或拒發出口許可證,并將向ASML提供許可證所附條件的細節。
ASML在聲明中重點指出,荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統(DUV,深紫外光刻)。而該公司的EUV光刻(極紫外光刻)系統在此前已經受到限制,其他系統的發運暫未受荷蘭政府管控。
ASML受出口管制的光刻機型號
在荷蘭政府宣布新的半導體出口管制條例后,中國駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應:荷蘭政府正式出臺半導體制造設備的出口管制措施,這是對出口管制措施的濫用,是對自由貿易和國際經貿規則的嚴重背離,中方對此堅決反對。
“我們呼吁荷方從維護國際經貿規則及中荷經貿合作大局出發,立即糾正錯誤做法。中方將堅決維護自身合法權益。同時,也愿與荷方一道,本著互利互惠的原則,共同探討解決方案,共同推動中荷經貿關系健康發展。”中國駐荷蘭大使館發言人表示。
ASML方面也早就對出口管制做出過警示。今年2月,在接受歐洲媒體采訪時,ASML首席執行官溫彼得直言,如果美國及其盟友切斷中國(大陸)獲得某些半導體和半導體制造技術的渠道,中國將被迫加倍努力開發自主技術。他坦言,雖然出口管制是合法工具,但不應該被濫用,決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的復雜性。
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